Metodu ta 'tħaddim awtomatiku tal-kisi tal-kisi

Uża l-metodu ta 'tħaddim: (1) L-ewwel plug il-plug tal-qawwa tal-pompa fil-ħanut tal-enerġija fuq wara tal-coater . (2) daħħal il-plagg coater fis-socket tal-qawwa 110V, u mbagħad agħfa Dritt . Is-segment jaċċellera u n-naħa tax-xellug hija t-tieni aċċelerazzjoni . (4) skont id-daqs tas-substrat, turntables li jduru differenti jistgħu jiġu sostitwiti għall-mixi .}} (5) Agħfas il-buttuna [pompa], il-kwadru li jdur, u l-fotoresist se jkun mneħħi b'mod spirali mneħħi mill-parti ta 'taħt Il-qalb tinfirex b'mod uniformi u bil-mod għall-ammont xieraq . Meta tagħmel il-kisi fotoresista, tista 'tiġi trattata l-ewwel bin-nitroġenu . iż-żona madwar it-turntable li jdur u s-sottostrat huma minfuħa {{16. (6) ikopru l-kopertura protettiva tal-kisja biex tkopri l-kopertura protettiva tal-kisja biex tevita l-fotoresista barra mill-koer. (7) Agħfas il-buttuna [Ibda] u l-coater jibda l-operazzjoni tal-kisi . (8) Wara l-kisi, ixgħel il-protezzjoni, agħfas il-buttuna [pompa] biex iddawwar il-kwadrant biex tirrilaxxa s-sottostrat, allura tista 'tieħu l-materjal .