L-evaporazzjoni tal-magna tal-kisi bil-vakwu hija proċess importanti
Ħalli messaġġ
L-evaporazzjoni tal-magna tal-kisi bil-vakwu hija proċess importanti
Il-karatteristiċi tal-kontroll tal-ħxuna tal-film ta 'EI-5Z electron beam coater huma analizzati. Bl-għajnuna ta 'riżultati sperimentali u riċerka teoretika, ġiet iddisinjata mill-ġdid pjanċa ta' aġġustament aktar prattika, u nkisbet prestazzjoni aħjar tal-film: id-devjazzjoni fi ħdan is-sottostrat kienet fi ħdan ± 3 fil-mija, u d-devjazzjoni bejn l-istess lott ta 'sottostrati kienet fil-medda ta' ± 5 fil-mija Ġewwa. Tissodisfa r-rekwiżiti tal-produzzjoni tal-massa.
Fil-produzzjoni tas-semikondutturi, l-evaporazzjoni hija proċess importanti. L-eżattezza tal-kontroll tal-ħxuna tal-film hija indikatur ewlieni biex jitkejjel l-effett ta 'evaporazzjoni, li jaffettwa direttament il-proċess ta' produzzjoni sussegwenti u l-prestazzjoni tal-prodott finali. Fil-produzzjoni tal-massa, min-naħa waħda, il-kejl preċiż tal-ħxuna tal-film huwa enfasizzat, u min-naħa l-oħra, l-uniformità tal-ħxuna tal-film — jiġifieri, il-bidla tal-ħxuna tal-film mal-wiċċ tas-sottostrat u l-bidla tal-ħxuna tal-film bejn sottostrati f'pożizzjonijiet differenti fuq l-ixkaffa— Hemm ukoll talbiet għoljin.
Il-prinċipju bażiku tal-evaporazzjoni tal-magna tal-kisi bil-vakwu
L-evaporazzjoni hija l-eqdem teknika fil-metodu tad-depożitu ta 'films irqaq taħt kundizzjonijiet ta' vakwu. Maż-żmien, f'ħafna applikazzjonijiet, ġie sostitwit gradwalment b'metodi oħra, bħal SPUTERRING jew PECVD, iżda kull meta uċuħ kbar jeħtieġu depożizzjoni b'rata għolja ta 'films irqaq, it-teknoloġija tal-evaporazzjoni għadha l-aktar soluzzjoni użata u Ekonomika.
Il-prinċipju tekniku ta 'evaporazzjoni huwa sempliċi ħafna. Is-sustanza li għandha tiġi evaporata (sors ta 'evaporazzjoni) titqiegħed f'kontenitur speċifiku (griġjol) f'kamra speċifika fejn se titwettaq l-operazzjoni ta' evaporazzjoni, u msaħħna għal ċerta temperatura taħt kundizzjonijiet ta 'vakwu. Hemm żewġ metodi ta 'tisħin tal-materjal evaporat, permezz ta' raġġ ta 'elettroni eċċitati minn kamp manjetiku indott, jew bit-tisħin tal-wajer tar-reżistenza. Fil-parti tal-kamra tal-evaporazzjoni li mhix protetta mill-shutter, is-sustanzi evaporati se jiġu depożitati fuq il-wiċċ biex jiffurmaw film irqiq.
www.superbheater.com
