Kif Huma Pjanċi tat-Tisħin Ċċertifikati biex jilħqu l-Istandards SEMI għat-Tagħmir tal-Manifattura tas-Semikondutturi?

Il-manifattura tas-semikondutturi teħtieġ indafa u purità kbira tal-materjali. Il-pjanċi tat-tisħin użati fit-tagħmir għall-ipproċessar tal-wejfers iridu jissodisfaw kriterji SEMI stretti ħafna li jmorru ħafna lil hinn mis-sigurtà elettrika bażika biex jinkludu l-outgassing, il-produzzjoni tal-partiċelli u l-kompatibilità tal-materjali.

X'inhuma l-Istandards SEMI
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) hija assoċjazzjoni kummerċjali internazzjonali li toħloq standards biex tiżgura l-kwalità, is-sigurtà u l-kompatibilità ambjentali tat-tagħmir tal-produzzjoni tas-semikondutturi. Dawn il-kriterji huma essenzjali għall-indafa u l-prestazzjoni meħtieġa fil-manifattura tas-semikondutturi. L-istandards SEMI ikopru firxa wiesgħa ta' suġġetti inklużi s-sikurezza tat-tagħmir (S2), il-kompatibilità ambjentali (S8) u rekwiżiti speċifiċi tal-materjal-. Meta niġu għat-tisħin tal-pjanċi, il-konformità SEMI tfisser li jissodisfaw l-istandards ta 'purità għolja meħtieġa għall-produzzjoni tas-semikondutturi.

Ċavetta tal-Istandards SEMI għall-Pjanċi tal-Heater
SEMI S2 - Sigurtà tat-tagħmir
SEMI S2 jistabbilixxi regoli ġenerali ta' sikurezza għat-tagħmir tas-semikondutturi biex jiżgura li l-pjanċi li jsaħħnu jkunu sikuri biex jintużaw f'ambjent ta' manifattura. . Il-konformità SEMI S2 hija vvalidata minn valutazzjoni ta'-parti terza magħmula minn evalwatur SEMI S2 iċċertifikat. L-istandard ikopri s-sigurtà elettrika, l-integrità mekkanika u t-tħaddim ġenerali tat-tagħmir.

Linji Gwida ta' Sigurtà SEMI S3 - għal Banjijiet Kimiċi Imsaħħna
SEMI S3 jappartjeni għas-sigurtà tat-tagħmir f'banjijiet kimiċi msaħħna. Dan l-istandard jiggarantixxi li l-pjanċi tat-tisħin, użati f'sistemi ta' pproċessar kimiku, ma joħolqux riskji għas-sigurtà jew ineffiċjenzi operattivi. Jinkludi wkoll materjali u struttura biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni mis-soluzzjoni kimika sħuna.

Speċifikazzjoni SEMI F57 - għal Materjali Polimeri f'Ilma Ultrapur u Sistemi Kimiċi Likwidi
SEMI F57 jiddefinixxi l-istandards għall-materjali polimeri, inklużi kisjiet fuq pjanċi li jsaħħnu, f'kuntatt ma 'ilma ultra pur u kimiċi likwidi. Dan l-istandard jiżgura li l-materjali użati fit-tagħmir tal-produzzjoni tas-semikondutturi huma kompatibbli ma' fluwidi ultra-puri u ma jħallux impatt fuq il-purità tal-proċess.

Standards ta' Ċertifikazzjoni għal Pjanċi tat-Tisħin
Il-pjanċi tat-tisħin f'tagħmir semikonduttur huma meħtieġa li jiġu ttestjati b'mod rigoruż skont l-istandards SEMI. Dawn it-testijiet huma relatati mal-kwalitajiet materjali, ir-reżistenza għall-kontaminanti u l-kompatibilità kimika:

Tneħħija tal-gass (ASTM E 595)
L-outgassing huwa l-emissjoni ta 'kimiċi volatili mill-materjali tal-pjanċa tat-tisħin fuq it-tisħin. Fil-manifattura tas-semikondutturi, il-kontaminazzjoni fl-ambjent tal-kamra nadifa tista 'twassal għal ħsarat fl-apparati tas-semikondutturi anke minn livelli ċkejkna ta' outgassing. Pjanċi tat-tisħin magħmula minn materjali bħal kisjiet PTFE u PFA għandhom jiġu ttestjati għall-ħruġ tal-gass skont ir-rekwiżiti ASTM E595 biex jiggarantixxu li ma jirrilaxxawx komposti perikolużi waqt it-tħaddim.

Il-partiċelli jaqgħu-off
Pjanċi tat-tisħin għandhom jinbnew biex jimminimizzaw il-ħolqien ta 'partiċelli li jistgħu jikkontaminaw il-wejfer jew l-operazzjonijiet kimiċi. Kwalunkwe materjal li jista 'jiġi f'kuntatt ma' fluwidi tal-proċess għandu jiġi eżaminat biex jiġi żgurat li ma jitfax partiċelli għal livelli li jinterferixxu mal-proċessi delikati tal-manifattura f'fabs semikondutturi.

Reżistenza għal Kimiċi tal-Proċess
Il-pjanċi tat-tisħin fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi ħafna drabi huma soġġetti għal sustanzi ostili bħal aċidi, solventi u ilma ultrapur. Dawn il-materjali jeħtieġ li jkunu reżistenti għall-korrużjoni u reżistenti għad-degradazzjoni taħt iċ-ċirkostanzi uniċi tal-proċess tal-produzzjoni tas-semikondutturi. Il-kisjiet PTFE u PFA jintużaw ħafna fuq il-pjanċi tat-tisħin minħabba r-reżistenza kimika superjuri tagħhom, u jiżguraw li l-integrità tal-wiċċ tat-tisħin tinżamm mingħajr ma jiddaħħlu xi kontaminanti.

Standards SEMI għal Platens u Chucks Imsaħħna Standards SEMI Importanti Sigurtà tat-Tagħmir SEMI S2 - (Rekwiżiti Ġenerali ta' Sigurtà)

Linji Gwida tas-Sigurtà SEMI S3 - għal Heater tal-Banju Kimiku

Speċifikazzjoni SEMI F57 - għal Materjali Polimeri f'Ilma Ultra Pur u Sistemi Kimiċi Likwidi

ASTM E595 Metodu ta 'Test ta' Outgassing

SEMI F47 – Prattiki Rakkomandati għat-Tagħmir tal-Manifattura tas-Semikondutturi

Konklużjoni
SEMI huwa standard li l-pjanċi tat-tisħin użati fit-tagħmir tas-semikondutturi għandhom jissodisfaw l-istandards ta 'purità u sikurezza tal-industrija tas-semikondutturi. Il-pjanċi tat-tisħin huma ċċertifikati ħielsa minn kontaminazzjoni tal-metall, jimminimizzaw it-tixrid tal-partiċelli u jissodisfaw ir-regolamenti tal-ħruġ tal-gass biex jipproteġu l-proċess tal-produzzjoni tas-semikondutturi. Setturi niċċa qed jiżviluppaw l-istandards speċifiċi tagħhom stess biex jissodisfaw il-ħtiġijiet tekniċi partikolari tagħhom. Il-konformità ma' standards bħal dawn tiżgura li t-tagħmir jissodisfa r-rekwiżiti stretti u ta' prestazzjoni għolja-tal-industrija tas-semikondutturi.