Kif Jappoġġaw l-iskambjaturi tal-fluworopolimeru l-inċiżjoni mxarrba tan-nitrur u l-ossidu tas-silikon f'Fabs?
Ħalli messaġġ
Fil-fabs semikondutturi, żewġ kimiċi klassiċi huma użati għall-inċiżjoni mxarrba: aċidu fosforiku sħun biex jitqaxxar nitrur tas-silikon, u aċidu idrofluworiku biex inċiżjoni ossidu tas-silikon. It-tnejn huma aggressivi ħafna, li jeħtieġu materjal ta 'skambjatur tas-sħana li mhux se jissaddad jew iniġġes.
Tekniki ta 'inċiżjoni mxarrba
L-inċiżjoni mxarrba hija proċess użat biex jitneħħew b'mod selettiv materjali minn wiċċ tal-wejfer fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi. Żewġ etchants komuni użati fil-bankijiet imxarrba tal-wejfer huma l-aċidu fosforiku (H3PO4) għall-inċiżjoni tan-nitrur tas-silikon u l-aċidu idrofluworiku (HF) għall-inċiżjoni tal-ossidu tas-silikon. Iż-żewġ aċidi huma aggressivi ħafna u jeħtieġu skambjaturi tas-sħana li jistgħu jirreżistu l-effetti korrużivi tagħhom.
Tneħħija tan-nitrur permezz tal-Inċiżjoni tal-Aċidu Fosforiku
Si3N4 inċiżjoni. L-aċidu fosforiku ġeneralment jintuża f'konċentrazzjoni ta '85% u msaħħan għal 150-180 grad. It-temperatura għolja u l-karattru aggressiv tal-aċidu spiss iwasslu għall-ispeċifikazzjoni ta 'skambjaturi PFA (perfluoroalkoxy). Polytetrafluoroethylene (PTFE) huwa reżistenti għall-aċidu fosforiku iżda l-klassifikazzjoni tat-temperatura massima tiegħu hija 110C għalhekk mhuwiex adattat għal din l-applikazzjoni ta 'temperatura għolja. Madankollu, l-iskambjaturi PFA jistgħu jitħaddmu kontinwament f'limitu ta 'temperatura ogħla ta' ~ 260 grad u għalhekk huma adattati għall-immaniġġjar ta 'aċidu fosforiku sħun mingħajr deterjorazzjoni.
Inċiżjoni ta 'l-aċidu idrofluworiku għat-tqaxxir ta' l-ossidu
L-inċiżjoni HF ġeneralment titwettaq f'temperatura ambjentali jew f'temperaturi kemmxejn miżjuda. PTFE u PFA huma ugwalment adattati għall-ġestjoni tal-HF. PTFE jintuża aktar ta 'spiss minħabba li huwa inqas għali u jipprovdi biżżejjed reżistenza f'temperaturi aktar baxxi. Il-problema ewlenija bl-inċiżjoni HF mhix it-temperatura iżda l-abbiltà tal-materjal li jirreżisti l-aggressività tal-HF. Kemm il-PTFE kif ukoll il-PFA huma pjuttost reżistenti għall-HF, li jfisser li l-iskambjatur tas-sħana mhux se jkun bil-ħsara u mhux se jikkontamina l-proċess tal-inċiżjoni.
Il-Benefiċċju tal-Fluworopolimeru
PTFE u PFA huma wkoll eċċellenti kemm għall-aċidu fosforiku kif ukoll għall-aċidu idrofluworiku, u għalhekk huma indispensabbli għall-proċeduri ta 'inċiżjoni tas-semikondutturi. L-użu ta 'dawn il-materjali fi skambjaturi tas-sħana tal-fluworopolimeru għall-inċiżjoni tan-nitrur u l-ossidi tas-silikon jipprovdi ħafna vantaġġi ewlenin:
Reżistenza għall-Korrużjoni: PFA u PTFE huma totalment reżistenti għall-effetti korrużivi ta 'aċidu fosforiku sħun u HF. L-iskambjaturi tal-metall jissaddad malajr, u jikkawżaw kontaminazzjoni tal-proċess u difetti possibbli tal-wejfer.
Kontaminazzjoni-Operazzjoni Ħieles: Il-fluworopolimeri huma inerti u ma jarmux joni fis-soluzzjoni u għalhekk jagħmlu l-proċess ta 'inċiżjoni nadif u stabbli. Il-kontaminazzjoni tat-traċċa minn metalli tista 'tikkawża difetti serji, li tagħmel l-iskambjaturi tas-sħana tal-fluworopolimeru eċċellenti għall-inċiżjoni tan-nitrur u l-ossidu tas-silikon.
Kontroll Stabbli tat-Temperatura L-iskambjaturi tas-sħana tal-fluworopolimeru jżommu l-istabbiltà tat-temperatura għal rati ta 'inċiżjoni konsistenti. Dan il-kontroll tat-temperatura huwa kruċjali biex jiżgura inċiżjoni omoġenja madwar il-wejfer, u biex tinżamm l-eżattezza tal-proċess.
Għażla ta 'Materjal għal Etchants Semikondutturi Tipiċi
Firxa ta 'Temperatura Etchant Materjal Rakkomandat tal-Iskambjatur tas-Sħana
Aċidu Fosforiku (85%) 150-180 grad PFA
Aċidu idrofluworiku (HF) Temperatura tal-kamra PTFE, PFA
Aċidu nitriku (HNO3) Temp tal-kamra. PTFE, PFA
Konklużjoni
Kontaminazzjoni-inċiżjoni mxarrba preċiża u ħielsa hija kritika fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, u l-iskambjaturi tas-sħana tal-fluworopolimeru, partikolarment PTFE u PFA, huma essenzjali għal dan il-proċess. Huma aktar reżistenti għall-aċidu fosforiku sħun u l-aċidu idrofluworiku, li jippermettu temperaturi kostanti tal-proċess u l-ebda kontaminazzjoni tal-metall. Il-materjali tal-iskambjatur tas-sħana f'fabs semikondutturi jintgħażlu abbażi tal-aggressività kimika tal-inċiżi u r-rekwiżiti tal-purità tal-proċessi. L-iskambjaturi tal-fluworopolimeru huma l-materjal preferut għan-nitrur u l-inċiżjoni tal-ossidu.
