Kif Tinbidel il-Flatness ta' Platen tat-Tisħin Kbir u Segmentat fil-Vakwu vs Pressjoni Atmosferika?

Platen tat-tisħin segmentat kbir, maħdum f'mikroni, jista 'jidher dimensjonali stabbli f'settings normali tal-ħanut. Iżda ladarba titwaħħal f'kamra tal-vakwu, il-forma tagħha tista 'tinbidel bil-mod. Mingħajr l-arja, il-14.7 psi ta' pressjoni atmosferika li kienet qed tiġi applikata għal dak kollu li kien espost spiċċat. Dan jippermetti li t-tensjonijiet residwi interni, li huma inizjalment ibbilanċjati minn tagħbijiet esterni, biex iqassmu mill-ġdid u jipproduċu bidla li tinkixef fil-flatness.

Il-vakwu tal-flatness tal-platen segmentat vs iċ-ċirkostanzi atmosferiċi huma ta' tħassib sinifikanti għal sistemi ta' proċessar termali u vakwu ta'-preċiżjoni għolja fejn anke distorsjoni fuq skala mikrometrika tista' tħalli impatt fuq l-uniformità tal-proċess.

Kif il-vakwu jibdel l-ekwilibriju mekkaniku
Il-bilanċ tat-tagħbija fuq platens kbar jinbidel b'mod bażiku mill-kundizzjonijiet tal-vakwu.

Telf ta' Lift Atmosferiku
F'kundizzjonijiet atmosferiċi:

Il-pressjoni esterna hija mqassma b'mod uniformi fuq uċuħ esposti

Din it-tagħbija konsistenti trażżan xi ftit it-tensjonijiet mekkaniċi

Deformazzjonijiet żgħar jistgħu jiġu moħbija jew mrażżna

Wara li jiġi applikat il-vakwu:

Il-pressjoni esterna titneħħa

L-oqsma ta 'stress interni huma l-muturi ewlenin tal-forma

L-illaxkar strutturali jsir viżibbli

Vakwu huwa id li ma tidhirx, li b'mod delikat terġa' -tissawwar il-metall.

Platens segmentati kbar imġieba tal-bowing
Il-platens tat-tisħin segmentati jġibu ruħhom bħal pjanċa elastika rqiqa.

Rispons Drumhead
Meta jiġi applikat il-vakwu:

Il-platen jista' jkun kemmxejn imxejjen.

Id-diflessjonijiet huma ta 'spiss ta' l-ordni ta 'ftit mikroni sa ftit għexieren ta' mikroni

Moviment differenzjali lokalizzat bejn is-segmenti jista' jintwera minn strutturi segmentati

Din mhix konsegwenza katastrofika iżda hija importanti fi proċessi termali ta 'preċiżjoni bħal fil-produzzjoni ta' semikondutturi jew fis-sinterizzazzjoni ta 'materjali sofistikati.

Effett ta 'struttura ta' segmentazzjoni
Is-segmentazzjoni twassal għal:

Diversi konnessjonijiet mekkaniċi

Żoni ta 'espansjoni termali kemmxejn differenti

Differenzi lokali ta 'ebusija

Id - deformazzjoni taħt tagħbija bil - vakwu tista ' tiżdied jew tiġi modifikata minn dawn il - kawżi .

Fatturi li Jinfluwenzaw il-Varjazzjoni tal-Flatness
Il-grad ta 'distorsjoni jiddependi fuq numru ta' karatteristiċi mekkaniċi u materjali.

Ħxuna u Riġidità tal-Pjanċa
L-ebusija tal-platen hija dipendenti ħafna mill-ġeometrija.

L-ebusija tal-flessjoni hija proporzjonali għall-kubu tal-ħxuna

Tnaqqis ta 'ħxuna żgħira jirriżulta fi tnaqqis kbir fl-ebusija

Platens eħxen huma aħjar biex jirreżistu l-liwi kkaġunat mill-vakwu-

varjazzjonijiet pjuttost ftit fid-disinn tal-ħxuna jistgħu jwasslu għal varjazzjonijiet pjuttost sostanzjali fl-imġieba tad-deflessjoni.

Stress tal-Produzzjoni Residwu
L-istress residwu huwa wieħed mill-kontributuri ewlenin għad-deformazzjoni ta 'wara l-installazzjoni.

Operazzjonijiet tal-magni jistgħu jinduċu msakkra-f'tensjonijiet

L-attivitajiet ta 'l-iwweldjar jew li jgħaqqdu jistgħu jikkawżaw oqsma ta' stress asimmetriċi

Dawn l-effetti huma mnaqqsa permezz ta 'trattament tas-sħana jew tekniki ta' tnaqqis tal-istress.

Platen li jittaffa b'mod xieraq l-istress normalment ikollu:

Inqas distorsjoni fil-vakwu

Imġieba ta 'flatness fit-tul aktar stabbli

Simetrija fil-Kostruzzjoni
Is-simetrija hija approċċ ta' mitigazzjoni importanti.

Għall-kostruzzjoni tal-platen simmetrika:

Ir-ridistribuzzjoni tal-istress hija mqassma b'mod aktar uniformi

L-istruttura hija bbilanċjata minn forzi tal-vakwu

Deflessjoni netta minimizzata

Id-deformazzjoni hija msaħħa taħt differenzjali ta 'pressjoni asimmetrika.

Kejl tal-Kondizzjoni Operattiva Reali
Il-verifika tal-flatness għandha tirrifletti l-kundizzjonijiet reali tal-proċedura.

Vacuum-Metroloġija tal-Istat: X'inhu l-Big Deal
Platen li jidher ċatt fl-arja ambjentali jista 'ma jkunx ċatt taħt vakwu. Għalhekk:

Il-flatness għandha tiġi ttestjata fil-livelli tal-vakwu tax-xogħol

Jekk possibbli, il-kundizzjonijiet termali għandhom jiġu riprodotti

effetti rilassanti dipendenti fuq il-ħin għandhom jiġu kkunsidrati

Dan ifisser li l-kriterji ta 'aċċettazzjoni mhumiex ibbażati fuq settings ta' produzzjoni statiċi, iżda fuq imġieba operattiva reali.

Ikkontrolla l-istrateġiji tad-disinn ta' distorsjoni kkaġunata mill-vakwu-
Metodi ta 'inġinerija ħafna drabi jintużaw biex inaqqsu l-varjazzjoni fil-flatness.

Ħxuna Strutturali Akbar
Bħala skali tal-ebusija daqs il-kubu tal-ħxuna:

Kwalunkwe żieda żgħira fil-ħxuna tal-platen tista 'tnaqqas ħafna d-deflessjoni

Il-kompromessi- huma massa termali ogħla u ħin ta' rispons itwal.

Wiċċ-Pressizzat jew Inkurunat
Xi disinji jidhru:

Kuruna - Kurva kemmxejn konvessa apposta

Kundizzjonijiet ta' assemblaġġ pre-{0}}stressat

Kontroll tal-kumpens tad-deformazzjoni

Dawn it-tekniki jippermettu li l-platen ikun ċatt taħt vakwu tax-xogħol reali aktar milli taħt pressjoni tal-arja.

Terapija għall-ħelsien mill-istress
It-tnaqqis tal-istress termali jew vibrazzjonali jista':

stress residwu intern imnaqqas

Stabbilizzazzjoni tal-imġieba dimensjonali fit-tul

Naqqas il-varjabilità permezz ta 'ċikli tal-vakwu

Konsiderazzjonijiet tal-platen segmentati
Fatturi addizzjonali japplikaw fil-każ ta 'disinji segmentati.

Intersegment Interface Imġieba
Il-fruntieri tas-segment jistgħu jkunu:

Reazzjoni differenti għat-tagħbija bil-vakwu

Uri xi moviment differenzjali

Effett tal-omoġeneità tal-kuntatt termali lokali

Akkoppjar mekkaniku korrett huwa meħtieġ biex tinkiseb imġieba ta 'deformazzjoni koerenti.

Effett ta 'l-istruttura ta' appoġġ
Appoġġ ta' wara u frejms tal-immuntar:

Distribuzzjoni tat-tagħbija affettiva taħt vakwu

Jista 'jew trażżan jew jintensifika l-liwi.

Għandu jkun iffurmat b'mod simetriku għal prestazzjoni massima

Sommarju
Fil-platens tat-tisħin segmentati kbar, l-ambjent tal-vakwu huwa varjabbli mekkaniku żgħir iżda li jista 'jinxtara. Meta titneħħa l-pressjoni ta 'l-arja, ir-razez interni mhumiex f'ekwilibriju u jista' jseħħ xi ċawwa jew fluttwazzjoni fil-flatness Il-limitu ta 'dan l-effett jiddependi fuq il-ħxuna tal-platen, ebusija strutturali (li tiskali mal-kubu tal-ħxuna), stress tal-manifattura residwu, u simetrija ġeometrika ġenerali.

Biex tibni servizz vakwu tajjeb, għandek bżonn tevalwa vakwu tal-flatness tal-platen segmentat vs atmosfera f'kundizzjonijiet operattivi attwali, aktar milli tiddependi biss fuq kejl ambjentali. Kostruzzjonijiet simetriċi u mtaffija ta' stress bħal dan, flimkien ma' ħxuna strutturali xierqa u, meta meħtieġ, elementi ta' disinn pre-stressati, jikkontribwixxu għall-istabbiltà dimensjonali.

Fl-aħħar analiżi, il-ġeometrija attwali ta 'platen tat-tisħin ta' preċiżjoni mhix determinata fil-workshop iżda fl-ambjent li fih tintuża. L-istat tal-vakwu tax-xogħol huwa r-referenza de-facto għall-flatness, li jiggarantixxi l-prestazzjoni fejn jgħodd: fil-kamra tal-proċess.