Miniaturizzazzjoni tas-Sensor u Teknoloġija taċ-Ċippa
Ħalli messaġġ
Sistema mikro-elettromekkanika (MEMS) hija mikro-sistema jew apparat li jintegra mikro-mekkaniżmi, mikro-sensuri, mikro-attivi, ċirkwiti ta 'kontroll, proċessar ta' sinjali, komunikazzjoni, interfaces, provvisti ta 'enerġija, eċċ. Hija teknoloġija għat-tfassil, l-ipproċessar, il-manifattura, il-kejl, il-kejl u l-kontroll ta' materjali mikro / nano.
It-teknoloġija MEMS tinkludi: teknoloġija tal-micromachining tas-silikon, inċiżjoni tal-joni reattivi fil-fond, teknoloġija tal-liga, teknoloġija tal-assemblaġġ molekulari, mikromachining bl-ingrossa, mikromachining tal-wiċċ, mikromachining bil-lejżer u teknoloġija tal-micro-pakkett.
It-teknoloġija tal-mikromachining tas-silikon hija t-teknoloġija mainstream tal-MEMS. Hija teknoloġija ta 'proċessar tridimensjonali ta' preċiżjoni. Hija teknoloġija għall-iżvilupp ta 'sensuri, mikro-attivi, mikro-attivi, u sistemi mikro-mekkaniċi. Intuża b'suċċess biex timmanifattura diversi mikro-sensuri u matriċi ta 'elementi sensittivi multi-funzjonali. Bħal sensuri kapaċitativi mikro-silikon, sensuri tal-fluss tal-massa mikro-silikon, sensuri dinamiċi u mikro-sensuri għal sensuri tal-ajruspazju, pressjoni tal-karozzi u aċċellerazzjoni, sensuri mikro-kimiċi tal-protezzjoni ambjentali, eċċ.
Teknoloġija ta 'integrazzjoni ta' matriċi tas-sensuri u komposti ta 'parametri multi-sensing
L-integrazzjoni tirreferi għall-integrazzjoni ta 'funzjonijiet ta' sensing multipli bl-ipproċessar tad-dejta, ħażna, komunikazzjoni b'żewġ direzzjonijiet, eċċ bħal pressjoni, pressjoni statika, senser tat-temperatura bi tliet varjabbli; pressjoni ta 'l-arja, forza tar-riħ, temperatura, umdità sensur b'erba' varjabbli; Mikro-silikon kompost tar-razza tal-pressjoni tas-sensur u sensur tal-firxa, eċċ., Kollha jużaw teknoloġija ta 'integrazzjoni. Proċess ta 'integrazzjoni u proċess ta' manifattura integrat ta 'mikrostruttura ta' sensuri komposti multi-varjabbli, bħal pressjoni, pressjoni statika, temperatura ta 'senser bi tliet varjabbli, pressjoni ta' l-arja, forza tar-riħ, temperatura, umdità b'erba 'sensuri, sensuri ta' pressjoni ta 'razza kompost mikro-silikon, senser tal-firxa.
Hemm żewġ tipi ta 'integrazzjoni tas-sensuri: wieħed huwa li tibni moduli ta' sensuri multipli fuq ċippa permezz ta 'teknoloġija ta' mikro-magna biex tifforma senser lineari (bħal sensur tal-immaġni CCD); L-ieħor huwa li tagħmel komponenti sensittivi b'funzjonijiet differenti fuq l-istess ċippa tas-silikon biex tagħmel sensur multifunzjonali integrat b'integrazzjoni għolja, daqs żgħir, u kumpens u korrezzjoni faċli.
