L-Applikazzjoni ta 'Hiters tal-Iskrataċ f'Tagħmir tal-Ipproċessar tal-Vakwu Semikondutturi
Ħalli messaġġ
In-negozju tas-semikondutturi għandu standards għoljin ħafna għal kemm hu nadif u preċiż l-ipproċessar, u l-ipproċessar bil-vakwu huwa parti importanti biex isiru semikondutturi (pereżempju, ittemprar tal-wejfer, sputtering, inċiżjoni u ippakkjar). Is-sistema tat-tisħin hija l-aktar parti importanti tat-tagħmir għall-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi minħabba li tiddetermina kemm il-wejfers tas-semikondutturi jiġu pproċessati tajjeb. Il-ħiters tal-iskrataċ issa huma l-aktar element ta 'tisħin popolari għal dan it-tip ta' tagħmir minħabba li jisħnu malajr, jaħdmu b'mod konsistenti, u huma żgħar. Ħiters tal-iskartoċċ użati f'tagħmir għall-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi mhux biss għandhom jissodisfaw il-ħtiġijiet bażiċi tat-tisħin bil-vakwu, iżda għandhom ukoll ikunu kapaċi jimmaniġġjaw il-ħtiġijiet tal-industrija tas-semikondutturi għal preċiżjoni għolja, indafa u stabbiltà.
Tagħmir għall-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi, bħal fran tal-ittemprar tal-vakwu, tagħmir ta 'sputtering, u tagħmir ta' inċiżjoni, normalment jaħdem f'ambjenti ta 'vakwu għoli ('il fuq minn 10^-4 Pa) u b'temperatura għolja (300-1200 grad). Is-sistema tat-tisħin għandha żżomm it-temperatura fi ħdan ± 0.5 grad. Dan għaliex il-prestazzjoni elettrika tal-wejfers tas-semikondutturi hija partikolarment sensittiva għat-temperatura. Anke bidliet żgħar fit-temperatura jistgħu jipproduċu diffikultajiet bħal konċentrazzjoni irregolari tad-doping, difetti tal-kristall, u kwistjonijiet oħra li jinfluwenzaw il-kwalità u r-rendiment taċ-ċipep tas-semikondutturi. Il-ħiters tal-iskrataċ jistgħu jiksbu dawn l-istandards għoljin minħabba li huma tajbin ħafna biex jikkontrollaw it-temperatura u jsaħħnu b'mod uniformi.
Il-ħiters tal-iskrataċ huma l-parti ewlenija tat-tisħin tal-fran tal-ittemprar bil-vakwu għal wejfers semikondutturi. Biex teħles mill-imperfezzjonijiet tal-kristall u tagħmel il-wejfer jaħdem aħjar bl-elettriku, il-proċedura ta 'ttemprar bil-vakwu titlob li l-wejfer tas-semikondutturi jissaħħan għal temperatura partikolari (tipikament 600-1000 grad) f'ambjent ta' vakwu għoli- u jinżamm hemm għal ċertu ammont ta 'żmien. F'dan il-każ, il-ħiters tal-iskartoċċ huma normalment ħiters tal-kartuċċa tal-għant Inconel b'mili ta 'insulazzjoni MgO li huwa pur ħafna u dens ħafna. Il-kisja ta 'Inconel hija stabbli ħafna f'temperaturi għoljin u reżistenti għall-korrużjoni, li jfisser li mhux se jossidizza jew ma titħammeġ f'kundizzjonijiet ta' vakwu ta'-temperatura għolja. Il-mili MgO ta'-densità għolja jiżgura li s-sħana tiġi trasferita b'mod uniformi u li l-insulazzjoni taħdem tajjeb, sabiex il-wejfer ma jaħraqx wisq f'post wieħed.
Ukoll, il-mod kif il-ħiters tal-iskrataċ huma stabbiliti fi fran ta 'ttemprar bil-vakwu huwa eżatt ħafna. Ibbażat fuq l-esperjenza, il-ħiters tal-iskartoċċ jitwaħħlu b'mod issikkat u uniformi fuq il-ħajt tal-forn, il-qiegħ u l-parti ta 'fuq. Kull heater tal-iskartoċċ għandu s-sensor tat-temperatura tiegħu stess. Is-sistema ta 'kontroll tat-temperatura tuża algoritmu ta' kontroll tat-temperatura b'ħafna -żona biex tbiddel il-qawwa ta 'kull heater tal-iskartoċċ f'ħin reali. Dan iżomm it-temperatura fil-kamra tal-forn fi ħdan ± 0.5 grad. Ukoll, hemm vojt ta '5 sa 10 mm bejn kull heater tal-iskartoċċ biex iżomm ir-radjazzjoni tas-sħana milli tinterferixxi ma' xulxin u biex tiżgura li s-sħana titqassam b'mod uniformi. It-tul u d-dijametru tal-ħiters tal-iskartoċċ huma mfassla biex jaqblu mad-daqs tal-kamra tal-forn u l-wejfer tas-semikondutturi. Għal-tagħmir għall-ipproċessar tal-wejfers fuq skala kbira bħal fran tal-wejfer ta' 12-il pulzier, jintużaw ħiters tal-iskartoċċ itwal u eħxen biex jiġi żgurat li jkun hemm biżżejjed qawwa tat-tisħin u saħansitra tisħin.
Il-ħiters tal-iskrataċ jintużaw f'magni sputtering semikondutturi biex isaħħnu l-mira u s-sottostrat. Biex tittejjeb l-aderenza tal-film sputtered u l-uniformità tal-ħxuna tal-film, il-mira u s-sottostrat għandhom jissaħħnu sa ċertu temperatura (tipikament bejn 300 u 600 grad ) f'ambjent ta 'vakwu għoli -. Il-ħiters tal-iskartoċċ f'dan il-każ huma normalment ħiters tal-iskartoċċ tal-għant tal-istainless steel (316L) b'densità ta' qawwa ta' 5–7 W/cm². Il-kisja ta 'l-istainless steel 316L hija reżistenti għall-korrużjoni u tista' taħdem ma 'l-ambjent tal-gass inert tat-tagħmir ta' sputtering, inkluż l-argon. Id-densità ta 'enerġija raġonevoli tiżgura li l-mira u s-sottostrat jisħnu malajr mingħajr ma jisħnu wisq fi kwalunkwe post wieħed.
In-nies ta 'spiss ipoġġu l-ħiters tal-iskartoċċ f'magni sputtering fid-detentur tal-mira u d-detentur tas-sottostrat, fejn huma qrib ħafna tal-mira u s-sottostrat biex jagħmlu t-trasferiment tas-sħana aktar effiċjenti. Iżolaturi taċ-ċeramika reżistenti-temperatura-għoli u ċrieki tas-siġillar tal-metall jissiġillaw il-parti taċ-ċomb-barra mill-heater tal-iskartoċċ. Dan iżomm il-vakwu tal-kamra tas-sputtering issikkat u jwaqqaf il-gass inert milli joħroġ. Ukoll, il-ħiters tal-iskartoċċ għandhom komponenti li jissalvagwardjaw kontra sħana żejda. Jekk it-temperatura tmur lil hinn mill-valur predeterminat, il-provvista tal-enerġija tintefa fil-ħin biex tippreserva l-mira, is-sottostrat u t-tagħmir ta 'sputtering.
Il-ħiters tal-iskartoċċ użati fit-tagħmir tal-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi għandhom jaqblu mal-istandards stretti tal-indafa tal-industrija tas-semikondutturi. Biex iżżomm it-trab, it-tbajja taż-żejt, u sustanzi oħra li jniġġsu milli jinżlu u jikkontaminaw il-wejfer tas-semikondutturi, il-wiċċ tal-għant għandu jiġi illustrat u mnaddaf. Biex timminimizza l-volatilizzazzjoni u t-tniġġis f'kundizzjonijiet ta' vakwu ta'-temperatura għolja, il-mili tal-insulazzjoni MgO għandu jkun pur ħafna u ma jinkludi l-ebda kontaminanti perikolużi, tali metalli tqal. Ukoll, il-ħiters tal-iskartoċċ għandhom jgħaddu minn testijiet ta 'indafa severi qabel ma jitilqu mill-fabbrika biex jiżguraw li jissodisfaw l-istandards tal-industrija tas-semikondutturi.
Il-heater tal-iskartoċċ għandu wkoll ikun stabbli maż-żmien. Minħabba li t-tagħmir tal-produzzjoni tas-semikondutturi jaħdem il-ħin kollu (24 siegħa kuljum, 7 ijiem fil-ġimgħa), il-heater tal-iskartoċċ jeħtieġ li jdum għal żmien twil (aktar minn 8000 siegħa) u jaħdem b'mod konsistenti. Ħiters tal-iskrataċ użati f'tagħmir għall-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi huma normalment mibnija minn materjali ta '-kwalità għolja u jgħaddu minn ħafna xogħol ta' ttestjar u disinn biex jiġi żgurat li se jaħdmu tajjeb għal żmien twil mingħajr ma jkollhom bżonn jiġu sostitwiti spiss. It-tindif regolari tal-wiċċ tal-għant u l-monitoraġġ tal-effettività tal-insulazzjoni tal-ħiters tal-iskartoċċ jistgħu jgħinuhom idumu aktar u jżommu l-produzzjoni tas-semikondutturi għaddejja.
Fil-qosor, il-ħiters tal-iskartoċċ huma parti importanti mit-tagħmir tal-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi, u l-prestazzjoni tagħhom għandha effett dirett fuq il-kwalità u r-rendiment tal-wejfers tas-semikondutturi. Il-ħiters tal-iskrataċ huma perfetti għas-settur tas-semikondutturi minħabba li jistgħu jimmaniġġjaw it-temperatura b'mod preċiż ħafna, isaħħnu b'mod ugwali, jaħdmu b'mod affidabbli u jibqgħu nodfa ħafna. Tipi differenti ta 'tagħmir għall-ipproċessar tal-vakwu tas-semikondutturi, bħal fran ta' ttemprar u tagħmir ta 'sputtering, jeħtieġu tipi differenti ta' ħiters tal-iskartoċċ. L-adattament professjonali u l-appoġġ tekniku jistgħu jgħinu lill-manifatturi tas-semikondutturi jagħżlu l-aħjar ħiters tal-iskartoċċ, iżommu t-tagħmir jaħdem bla xkiel, u jagħmlu l-prodotti tas-semikondutturi aħjar.
